隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)晶圓ID的精準(zhǔn)讀取和追溯需求日益增加。為解決傳統(tǒng)視覺技術(shù)在字符識(shí)別過程中遇到的困難，?？禉C(jī)器人推出了晶圓ID讀取軟硬件一體化的新產(chǎn)品SC6500-AI-WID。
該產(chǎn)品具備高效的AI信息識(shí)別和解碼能力，優(yōu)異的光學(xué)設(shè)計(jì)搭配簡(jiǎn)單易用的軟件，為晶圓生產(chǎn)提供了全流程的ID讀取和追溯能力，助力半導(dǎo)體行業(yè)的數(shù)字化和智能化升級(jí)。
專業(yè)化光學(xué)設(shè)計(jì)，智能化適配應(yīng)用
SC6500-AI-WID集成了專為硅片、晶圓識(shí)別而設(shè)計(jì)和開發(fā)的光學(xué)成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)為不同工藝設(shè)備端的晶圓ID識(shí)別提供了優(yōu)良的成像效果。
SC6500-AI-WID內(nèi)置明視場(chǎng)和暗視場(chǎng)照明模式，不同類型晶圓上的字符標(biāo)識(shí)都可以清晰成像，用戶可以根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景進(jìn)行靈活的光源控制。
高性能的OCR識(shí)別算法
SC6500-AI-WID搭載了專為晶圓ID讀取量身定制的AI識(shí)別算法，已通過多個(gè)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證，可輕松應(yīng)對(duì)不同字體、大小和背景干擾等復(fù)雜情況，能夠精準(zhǔn)、自動(dòng)識(shí)別視野內(nèi)任意位置的字符信息，最高可實(shí)現(xiàn)36000 Pcs/H的超高速讀取率，識(shí)別準(zhǔn)確率更是高達(dá)99.9%以上。
此外，可兼容SEMI種類的所有字體，而且可以兼容任意位數(shù)的長(zhǎng)度，如12位、16位、18位等。
高精度的解碼算法
SC6500-AI-WID支持半導(dǎo)體行業(yè)常用的T7 Data Matrix、QR-Code、一維碼等類型碼制，能夠讀取各類復(fù)雜場(chǎng)景下的信息，30ms內(nèi)即可完成，可以與OCR識(shí)別結(jié)果進(jìn)行比較，從而進(jìn)一步提高生產(chǎn)信息追溯的準(zhǔn)確性。
高靈活性的軟件平臺(tái)
SC6500-AI-WID內(nèi)置了VM算法平臺(tái)，具有AI OCR及高精度讀碼算法，僅需簡(jiǎn)單配置即可快速使用。同時(shí)，還提供了個(gè)性化的運(yùn)行監(jiān)控配置界面，方便用戶根據(jù)需要設(shè)置信息顯示界面，實(shí)時(shí)查看檢測(cè)結(jié)果。
更多應(yīng)用場(chǎng)景
除晶圓信息的識(shí)別追溯外，SC6500-AI-WID還可應(yīng)用于晶圓位置檢測(cè)及邊緣缺陷檢測(cè)等場(chǎng)景。
SC6500-AI-WID外觀設(shè)計(jì)緊湊，設(shè)備安裝空間更小，可集成到自動(dòng)化晶圓處理，如氣象沉積機(jī)、晶圓打標(biāo)機(jī)、晶圓分選機(jī)、檢測(cè)AOI設(shè)備和搬運(yùn)設(shè)備等。
?？礢C6500-AI-WID晶圓ID讀取設(shè)備參數(shù)：
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